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回收晶圆(晶圆回收方法)

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晶圆回收方法【专利摘要】本发明提供了一种晶圆回收方法,包括:提供一待回收晶圆;对所述待回收晶圆执行第一次湿法清洗;对所述待回收晶圆执行第二次湿法清洗;在所述待回收晶圆的表面上沉积氧化硅薄膜;对所述氧化硅薄膜进行化学机械研磨。在本发明提供的晶...

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还原氧化石墨烯(还原氧化石墨烯的方法)

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一种还原氧化石墨烯的方法【专利摘要】本发明公开了一种还原氧化石墨烯的方法。本发明巧妙地将天然有机物腐殖质用于还原氧化石墨烯。本发明的反应条件温和,能耗低,能够避免现有技术中由于高温或高能紫外射线而对石墨烯结构产生的破坏作用;且加入的天然有机...

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碳纳米管的制备(碳纳米管的制备详解)

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本发明涉及一种碳纳米管的制备方法。 背景技术: 目前制备碳纳米管主要有三类方法:电弧放电法,激光烧蚀法及化学气相沉积法。 电弧放电法和激光烧蚀法不能控制碳纳米管的直径和长度,制备方法所用设备昂贵,很难在大尺寸基片上大规模生长碳纳米管,且制得...

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薄膜晶体管(薄膜晶体管及薄膜晶体管)

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本发明涉及液晶显示器技术领域,尤其涉及薄膜晶体管的制作方法及薄膜晶体管。 背景技术: 氧化物半导体由于电子迁移率高,漏电流低,制备温度低等特点,引起了广泛的关注。传统的顶栅自对准结构在完成源漏极电极后,制作钝化层和有机绝缘膜需要使用两道模具...

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