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化学机械抛光(化学机械抛光方法)

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化学机械抛光方法【技术领域】[0001] 本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种化学机械抛光方法。【背景技术】[0002] 在半导体工艺过程中,化学机械抛光技术是机械研磨和化学腐蚀的组合技术,通 过研磨液(浆料)的研磨作用和化学腐蚀作用在晶...

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