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回收晶圆(晶圆回收方法)

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晶圆回收方法【专利摘要】本发明提供了一种晶圆回收方法,包括:提供一待回收晶圆;对所述待回收晶圆执行第一次湿法清洗;对所述待回收晶圆执行第二次湿法清洗;在所述待回收晶圆的表面上沉积氧化硅薄膜;对所述氧化硅薄膜进行化学机械研磨。在本发明提供的晶...

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